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半导体加工设备用高纯PTFE配件 - 超净 -按图定制
关键词：半导体PTFE配件, 高纯聚四氟乙烯, 晶圆承载环, 清洗槽内衬, 抗静电PTFE, SEMI F57, 湿法设备配件
描述：我公司提供半导体设备用高纯PTFE配件，支持晶圆承载环、清洗槽内衬、管接头等按图定制。
核心特性
极致润滑：摩擦系数≤0.01（金属接触面），自润滑免维护
绝对防腐：耐受氢氟酸、王水等所有已知强腐蚀介质
绝缘标杆：介电常数2.0~2.1，介电损耗<0.0002（1MHz）
典型应用场景与对应配件
设备/工艺段 典型配件 关键要求 推荐材料等级 单片湿法清洗机 晶圆承载环、旋转卡盘垫片、化学喷嘴、清洗槽内衬 高纯、耐HF/SC1/SC2、无颗粒脱落 高纯PTFE 槽式湿法刻蚀 花篮支架、晶圆分隔片、溢流槽、加热器护套 耐高温酸碱、尺寸稳定、低TOC析出 高纯PTFE CMP设备 抛光液输送管、过滤壳体密封、晶圆夹爪 耐磨、抗静电（防液滴吸附） 抗静电PTFE 化学品输送系统 高纯管接头、隔膜阀膜片、泵头内衬、流量计壳体 金属离子<0.1ppm、耐压、不泄漏 高纯PTFE ALD/PVD/CVD 真空腔体密封圈、气体分配板绝缘垫、电极护套 耐高温、低放气、高洁净 高纯PTFE（高温级） 晶圆传输系统 机械手末端夹爪、定位销、导向块、晶圆垫片 不划伤晶圆、抗静电、尺寸精度±0.02mm 抗静电PTFE 超纯水管道 直管、弯头、三通、变径接头、法兰 TOC≤20ppb、电阻率>18MΩ·cm 高纯PTFE 关联产品
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